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      RTP迅速退火炉

      通告时间:2017-11-16  浏览次数:2652

      产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
      商品简述:NBD HR铺天盖地高温快速热处理退火炉简称RTP。 
      该产品采用成熟的制作工艺,RTP迅速退火炉造型新颖结构合理; 
      时下已把各种形式实验多次验证,RTP迅速退火炉并已普遍用于半导体器件研发及生产等世界; 


      该系统主要用于: 
      1.可满足离子注入后的飞速退火; 
      2.也可用于欧姆接触快速合金; 
      3.还可用于硅化物合金退火,RTP迅速退火炉氧化物生长; 
      4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
      该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6


          迅速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP迅速退火炉在成熟的生产制造工艺的基础上,独立自主研制了该款产品,获得发明专利。RTP迅速退火炉该设备不但拥有较快的升温速率500℃/S,而且在重组工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。落实物理状态下的较快降温。咱们的技术员们巧妙地采取了冷壁工艺,RTP迅速退火炉在绿色节能环保的基础上实现了花样的飞速升降温!
      腔体采用了不同之进气结构,内管进气,外管出气,RTP迅速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。测温元件直接和形式接触,合同试样温度的准确性。


      RTP迅速退火炉主要技术参数

      1

      项 目

      着重技术指标

      数量

      2

      谱型号

      NBD-HR1200-110IT-170

      3

      温度控制

      高高的温度点

      1200℃

      4

      预定温度

      1100℃

      5

      稳定状态温度范围

      100~1000℃

      6

      温度测量精度

      ±0.2℃

      7

      温度控制投机性

      ±1℃

      8

      温度控制精确度

      ±1℃

      9

      温场均匀性

      ±2℃

      10

      温度状态工艺时间(S)

      2~100(100~1000℃)

      11

      最快升温速率

      500℃/S

      12

      降温速率(℃/S)

      1~200(交通氮气,投票率更快)

      13

      温度控制模式

      智能模糊全闭环控制

      14

      硬件功能

      操控系统

      NBD-101智能系统

      15

      用户界面

      中英文互换

      16

      工艺菜单编辑

      触屏式图像操作界面

      17

      推而广之端口

      可扩充真空测控和FFC供气

      18

      看门狗

      系统进入死循环时关闭主控制器

      19

      热电偶校准状态检测

      硬件校准,富有准确,硬件分析传感器状态是否健康

      20

      超高温状态检测

      硬件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

      21


      屏幕尺寸

      7"LCD

      22

      物理指标

      最大功率

      15kw

      23

      预定电压

      AC380~400V,50Hz(60Hz研制)

      24

      玉器类型

      S型单铂铑

      25

      影响腔室内径尺寸

      Φ100X200mm

      26

      花样有效空间

      3.5"

      27

      真空度

      4.3×10-3Pa(外配分子泵)

      28

      抽气端口尺寸

      KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

      29

      供气口尺寸

      Φ6.35mm双卡套

      30

      冷却方式

      潇洒冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

      31

      外形净尺寸(mm)

      长920×深500×高560

      32

      重65kg